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上海新陽：ArF光刻膠可用于90nm-14nm甚至7nm技術節點的集成電路制造工藝

每日經濟新聞 2023-02-16 16:28:41

每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司驗證的Arf光刻膠是用在多少制程工藝的？

上海新陽（300236.SZ）2月16日在投資者互動平臺表示，ArF光刻膠可用于90nm-14nm 甚至 7nm 技術節點的集成電路制造工藝。

(記者 王可然)

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