每經AI快訊，3月14日，南(nan)大光(guang)電(dian)在(zai)互動平臺表示，ArF光(guang)刻膠(jiao)(jiao)有少量供(gong)貨(huo)，尚未規模量產(chan)(chan)。光(guang)刻膠(jiao)(jiao)擴(kuo)產(chan)(chan)計劃需(xu)根據產(chan)(chan)品訂單情況確定。ArF光(guang)刻膠(jiao)(jiao)是(shi)先進(jin)集成電(dian)路芯片制(zhi)(zhi)造的關鍵(jian)材料，在(zai)193nm光(guang)源下有較高(gao)的透明性和抗刻蝕(shi)性等，可以廣泛應用于各(ge)種高(gao)端IC芯片的生(sheng)產(chan)(chan)制(zhi)(zhi)造。