每(mei)日經濟(ji)新(xin)聞 2023-05-29 15:47:55
每(mei)經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：日(ri)本對euv掩膜版(ban)設(she)備進行了限制，MueTec的掩膜版(ban)檢(jian)測設(she)備能否進行國產替代？
天準科技（688003.SH）5月29日在投資者(zhe)互動平臺表示，Muetec的掩膜檢測(ce)設備(bei)已經可以覆蓋65-90nm工藝，目前尚未達到EUV掩膜檢測(ce)設備(bei)的精度(du)。
(記者 賈運可)
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