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大族激光:公司自主研發的光刻機項目分辨率較低,仍主要聚焦在分立器件、LED等領域的應用

每(mei)日經濟新聞 2023-01-03 14:29:09

每經(jing)AI快訊,有投資(zi)者(zhe)在投資(zi)者(zhe)互動平臺提問:你好(hao),ASML的(de)(de)(de)光刻機(ji)使用了德國最優(you)秀的(de)(de)(de)激光公司(si)通快生產的(de)(de)(de)光源,我國上海微電(dian)子的(de)(de)(de)光刻機(ji)光源是否選(xuan)用了貴公司(si)的(de)(de)(de)產品?

大(da)族激光(002008.SZ)1月3日(ri)在投資者互動平(ping)臺表(biao)示,公司自主(zhu)研發的光刻機(ji)項目分辨率較(jiao)低,仍(reng)主(zhu)要聚焦在分立器件、LED等(deng)領域的應用,無法應用于芯片相(xiang)關(guan)加工(gong)環節(jie)。

(記者 畢陸名)

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