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天準科技:全資子公司MueTec的產品面向半導體前道晶圓的量測與檢測

每(mei)日經濟新(xin)聞(wen) 2023-06-15 16:15:26

每經AI快訊,有投(tou)資者在(zai)投(tou)資者互動平臺提(ti)問(wen):公司(si)子公司(si)MueTec半導(dao)體(ti)公司(si)生產(chan)的設備Argos系(xi)列、Rembrandt系(xi)列,是(shi)否可在(zai)光刻過(guo)程中對所(suo)有晶(jing)圓進(jin)行(xing)100%的檢測?

天準(zhun)科技(688003.SH)6月15日在投資(zi)者互動平臺(tai)表示,公(gong)司全(quan)資(zi)子公(gong)司MueTec的(de)產品(pin)面向半導體前道晶圓的(de)量測(ce)與檢(jian)測(ce),其中Argos系列、Rembrandt系列屬(shu)于宏觀瑕疵檢(jian)測(ce)設備,可以實現部分工藝(yi)制程(cheng)的(de)的(de)檢(jian)測(ce)。

(記者 蔡鼎)

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