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ASML與比利時微電子研究中心簽署諒解備忘錄，支持高NA半導體研究

2023-06-28 22:46:45

每經(jing)AI快訊(xun)，6月28日(ri)，荷(he)蘭光(guang)刻(ke)機(ji)巨頭(tou)ASML官(guan)網(wang)宣(xuan)布(bu)，與(yu)比利(li)時微(wei)電子研(yan)究中(zhong)心（Imec）簽署諒(liang)(liang)解備忘錄，將在下(xia)一(yi)階段加強合作，在IMEC開發一(yi)個最先(xian)進的(de)高(gao)數值孔徑(jing)（High-NA）極紫外光(guang)刻(ke)試(shi)驗線。諒(liang)(liang)解備忘錄包括在比利(li)時魯汶的(de)Imec中(zhong)試(shi)線安裝和服務(wu)ASML的(de)全套先(xian)進光(guang)刻(ke)和計量(liang)設備。（每日(ri)經(jing)濟(ji)新聞）

責編 張楊運

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