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南大光電：目前通過客戶驗證的ArF光刻膠主要應用于存儲芯片50nm和邏輯芯片55nm生產工藝

每日經濟新聞 2023-09-01 17:59:18

每(mei)經AI快訊，有投(tou)(tou)資者(zhe)在(zai)投(tou)(tou)資者(zhe)互(hu)動(dong)平臺提問：小批(pi)量(liang)量(liang)產(chan)的光(guang)刻膠最(zui)多可以(yi)用于幾nm芯片(pian)生產(chan)工藝？

南(nan)大光電（300346.SZ）9月1日在投資者互動平臺表示，目(mu)前通(tong)過客戶驗證(zheng)的ArF光刻膠主要應用于存儲芯(xin)片50nm和邏輯(ji)芯(xin)片55nm生產工藝。

(記者 畢陸名)

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