每經AI快(kuai)訊，盛美半導體(ti)設備(bei)(bei)（上海）股份有(you)限公司今(jin)日在官(guan)微(wei)宣布，其(qi)2024年推出的(de)Ultra Fn A等離子(zi)(zi)增強型原子(zi)(zi)層(ceng)沉積爐管設備(bei)(bei)（PEALD）已初(chu)步通過(guo)中國(guo)大陸一(yi)家半導體(ti)客戶(hu)的(de)工藝驗(yan)證(zheng)，正在進(jin)行最(zui)后優化和為邁入(ru)量產(chan)做準備(bei)(bei)。盛美上海還宣布，其(qi)于2022年推出的(de)Ultra Fn A熱(re)原子(zi)(zi)層(ceng)沉積爐設備(bei)(bei)（Thermal ALD）也已成(cheng)功通過(guo)另一(yi)家領先的(de)中國(guo)大陸客戶(hu)的(de)工藝驗(yan)證(zheng)，性能(neng)參數比肩同類國(guo)際競品，甚至更勝一(yi)籌。