每日經濟新聞 2023-07-31 13:29:01
每經AI快(kuai)訊，有投資(zi)者在投資(zi)者互動(dong)平臺提(ti)問(wen)：請問(wen)老師，從理(li)論上講，光柵尺是否(fou)(fou)可以用于DUV光刻(ke)機呢(ni)？高(gao)精尺和(he)超精尺理(li)論上講是否(fou)(fou)可以EUV光刻(ke)機呢(ni)？
奧普光電（002338.SZ）7月(yue)31日在投資(zi)者(zhe)互動平臺表示，理論上講，超(chao)精尺可(ke)以應用于DUV或者(zhe)EUV光刻機(ji)。
(記者 蔡鼎)
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